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中國國家電子級(jí)超純水GB/TII446.1－1997標(biāo)準(zhǔn)，電子級(jí)超純水制取設(shè)備可以了解深圳市諾頓環(huán)?？萍加邢薰咀钚卵邪l(fā)設(shè)備，其實(shí)超純水設(shè)備系統(tǒng)專業(yè)制作廠家
指標(biāo)\級(jí)別 |
EW－Ⅰ |
EW－Ⅱ |
EW－Ⅲ |
EW-Ⅳ |
電阻率 MΩ，cm(25℃) |
18以上，（95％時(shí)間）不低于17 |
15，（95％時(shí)間）不低于13 |
12.0 |
0.5 |
全硅，最大值,μg/L |
2 |
10 |
50 |
1000 |
＞1μm微粒數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
0.1 |
5 |
10 |
500 |
細(xì)菌個(gè)數(shù)，最大值，個(gè)/mL |
0.01 |
0.1 |
10 |
100 |
銅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
2 |
500 |
鋅，最大值，μg/L |
0.2 |
1 |
5 |
500 |
鎳，最大值，μg/L |
0.1 |
1 |
2 |
500 |
鈉，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
1000 |
鉀，最大值，μg/L |
0.5 |
2 |
5 |
500 |
氯，最大值，μg/L |
1 |
1 |
10 |
1000 |
硝酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
磷酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
硫酸根，最大值，μg/L |
1 |
1 |
5 |
500 |
總有機(jī)酸，最大值，μg/L |
20 |
100 |
200 |
1000 |
